實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述：實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)參數(shù)：1.曝光面積:160mm*160mm。2.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um。3.對(duì)準(zhǔn)精度:±1-1.5um。4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2。5.UV光源:進(jìn)口LED模塊。

所在城市：無(wú)錫市
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2025-04-28
訪問(wèn) 量：1246

產(chǎn)品分類

相關(guān)文章

詳細(xì)介紹

　　實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)產(chǎn)品參數(shù) ：

　　1.曝光面積:160mm*160mm

　　2.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um

　　3.對(duì)準(zhǔn)精度:±1-1.5um

　　4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2

　　5.UV光源:進(jìn)口LED模塊

　　6.曝光中心波長(zhǎng):365nm

　　7.光源壽命:1萬(wàn)小時(shí)，光源平行性:≤2°

　　8.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um

　　9.照度不均勻性:≤3%

　　10.曝光設(shè)定:定時(shí)

　　11.可執(zhí)行曝光模式:真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式

　　12.間隙設(shè)定方式:數(shù)字設(shè)定曝光間隙0-1200um

　　13.可調(diào)，可自動(dòng)分離和消除間隙

　　14.樣片、掩模版相對(duì)移動(dòng)范圍:X:±5mm，Y:±5mm,0=±6°

　　15.掩模版找平方式:球氣浮自動(dòng)找平

　　16.可支持掩模版尺寸:3"x3"、4"x4"、5"x5"、7"x7"各一件

　　17.標(biāo)配承片臺(tái):2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

　　18.標(biāo)準(zhǔn)配件可兼容樣片厚度:0.1-5mm，其他尺寸可定制

　　19.對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng):光學(xué)+CCD,顯微倍數(shù):放大倍率:150倍-720倍可調(diào)

　　20.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-120mm

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

麻豆成人一区二区三区,欧美日韩aa级一级片,少妇3p欧美一区二区三区,欧美精品系列在线播放

實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：